搜索结果: 1-15 共查到“光学工程 MEMS”相关记录39条 . 查询时间(0.082 秒)
近日，合肥工业大学微电子学院集成电路与系统专业2019级博士生杨朝晖以第一作者身份在综合类Top期刊《IEEE Sensors Journal》发表题为“Fast response infrared detector using a radially distributed dual-layer thermopile”的学术论文。微电子学院安徽省MEMS工程技术研究中心团队许高斌教授为论文的通讯作...
中国科学院微电子研究所专利：制热型MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法
MEMS技术用于制造等离激元近红外光谱仪（图）
MEMS技术 近红外光谱仪 光谱学
2022/3/9
近红外光谱提供了物质独有的吸收光谱，因此可以区分气体种类。因此，需要小型化光谱仪来实现用于监测居住环境中的空气质量的紧凑型气体传感器。然而，常规的近红外光谱仪具有光栅以将入射光分散成不同的波长，因此光谱学需要较长的光程长度，难以将这些设备小型化。
基于柔性止动的MEMS惯性开关冲击可靠性强化
微机电系统 冲击可靠性 柔性止动 接触力
2017/2/27
为了提高MEMS惯性开关的冲击可靠性，提出了一种柔性止动结构。首先，利用连续接触力理论建立了止动碰撞模型，通过Simulink对模型进行仿真，研究开关在不同止动形式下的响应特性。接着，从空间占用和应力集中的角度对悬臂梁和平面微弹簧两种止动形式进行讨论，设计止动结构。最后，利用UV-LIGA工艺制作开关样机，通过落锤冲击系统对样机进行测试。碰撞接触力对于冲击可靠性至关重要，Simulink仿真结果表...
折叠双S型Bimorph热式MEMS微镜
电热驱动 MEMS微镜 SOI微加工 折叠双S型双层梁结构 垂直线性大位移
2016/11/30
为了设计具有大角度、大位移、低电压的MEMS微镜。采用折叠双S型双层梁驱动结构设计了一种能够克服静电驱动缺陷的新型MEMS微镜，利用表硅与SOI相结合的MEMS微加工工艺来实现双材料电热的差分驱动。不但解决了因环境温度所引起的不稳定性问题，而且还实现了创记录的大角度、大位移扫描。通过该方法设计的微镜尺寸小于2.5 mm×2.5 mm，机械转角大于5度，垂直线性位移可达425 μm，系统响应时间小于...
折叠双S型Bimorph热式MEMS微镜
电热驱动 MEMS微镜 SOI微加工 折叠双S型双层梁结构 垂直线性大位移
2016/12/1
为了设计具有大角度、大位移、低电压的MEMS微镜。采用折叠双S型双层梁驱动结构设计了一种能够克服静电驱动缺陷的新型MEMS微镜，利用表硅与SOI相结合的MEMS微加工工艺来实现双材料电热的差分驱动。不但解决了因环境温度所引起的不稳定性问题，而且还实现了创记录的大角度、大位移扫描。通过该方法设计的微镜尺寸小于2.5 mm×2.5 mm，机械转角大于5度，垂直线性位移可达425 μm，系统响应时间小于...
MEMS硅半球陀螺球面电极成形工艺
微机电系统 半球陀螺 球面电极 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀
2016/12/16
由于球面电极是曲面结构，电极各处的电感耦合等离子体（ICP）刻蚀深度不一致，在加工过程中常发生球面电极还未刻蚀到位而谐振器已被破坏的现象，故本文提出了新的球面电极成形工艺。基于ICP刻蚀固有的lag效应，采用刻蚀窗口宽度由60 μm渐变至10 μm的V形刻蚀掩模调制电极各处的刻蚀速度，在电极各处获得了基本一致的归一化刻蚀速度（2.3 μm/min）。利用台阶结构拟合球面电极的3D曲面结构，并保证通...
MEMS可调谐平顶窄带光学滤波器
可调谐光学滤波器 密集波分复用 MEMS 少模光纤
2016/9/5
设计了一种基于MEMS技术的可调谐光学滤波器，它通过光栅将输入的宽带光信号色散展开，以一个MEMS扭镜选择将对应滤波器通带的光信号反射至输出端，从而实现光学滤波和波长调谐功能。滤波器的输入端采用单模光纤，输出端采用多模或者少模光纤，可以实现窄带且平顶的通带特性。经过参数优化，仿真分析得结果显示，采用多模/少摸光纤输出的两种滤波器，其0.5 dB和25 dB带宽分别为0.95 nm/0.29 nm和...
基于MEMS的红外动态图像生成技术
红外动态图像生成 微机电系统 可见光/红外图像转换膜 仿真
2016/7/28
提出了一种基于MEMS技术的红外动态图像生成技术。利用热传导方程,建立了可见光/红外图像转换膜的理论模型;介绍了可见光/红外图像转换膜制作的工艺流程,制作了一张像元数为512×512、像元尺寸为35μm的可见光/红外图像转换膜。并利用转换膜构造了红外动态图像生成装置,通过实验对红外动态图像生成装置的性能进行了研究。利用MEMS技术制作的可见光/红外图像转换膜可以工作在红外3~5μm和8~12μm两...
研究了相控阵天线系统使用的MEMS移相器的结构设计以及与耦合馈电相控天线阵的集成方法。根据相移原理和波束扫描原理,提出了移相器传输线的长度计算方法;对悬臂梁结构的MEMS开关进行设计,总结了优化开关结构的途径;最后给出了MEMS移相器与耦合馈电天线阵的集成方法。提出的制作工艺简单易于实现。结果显示:优化的MEMS开关在25 GHz频率内插入损耗小于0.2 dB,隔离度大于-15 dB;移相器在15...
MEMS矢量水听器封装的流体-结构相互作用
微机电系统(MEMS) MEMS矢量水听器 流固耦合 透声帽 谐振频率 频带
2015/12/24
针对水听器的频响曲线会在透声帽谐振频率处出现共振峰,使水听器频响曲线失真,工作频带变窄等问题。本文考虑水听器的工作环境,通过研究流体-结构相互作用对透声帽谐振频率进行了分析。首先理论分析流体对结构模态频率的影响, 分析显示在流体作用下透声帽谐振频率会降低。然后利用LMS Virtual.lab Acoustics有限元软件对空气中和液体中的MEMS矢量水听器芯片和透声帽进行了模态分析;并利用振动平...
平面电极型MEMS电化学地震传感器
微机电系统 电化学地震传感器 平面电极 低频震动检测
2015/12/23
针对传统电化学地震传感器的加工工艺成本高、一致性差等问题,设计了一种新的平面电极型微机电系统(MEMS)电化学地震传感器结构。建立了平面电极型MEMS电化学地震传感器的计算模型,通过Comsol多场耦合数值模拟分析方法,对影响传感器的结构参数如:电极宽度、电极间距、流道高度等进行了计算和优化。采用MEMS表面工艺和准LIGA工艺,制备了平面电极型MEMS电化学地震传感器。最后,与采用传统方法精密加...
MEMS宽带电化学地震检波器
微机电系统(MEMS) 电化学地震检波器 宽频带 Su-8绝缘层
2015/12/23
针对深部油气勘探的需要,研制了基于微机电系统(MEMS)的宽带电化学地震检波器。仿真分析了影响该检波器频带的结构参数,并对其MEMS实现及封装方法进行了研究。利用有限元软件分析绝缘层厚度和阴极孔径对检波器幅频特性的影响,得到了优化的几何参数。基于仿真结果,利用MENS工艺加工硅基的Pt电极和Su-8的绝缘层,然后用物理紧固的方法进行器件封装。最后,分别在水平振动台和基岩上进行了检波器的性能测试和微...
基于MEMS陀螺辅助增大闭环光纤陀螺动态范围的方法
光纤陀螺 动态范围 MEMS 陀螺
2016/8/25
闭环光纤陀螺的动态范围随着精度的提高而下降，为了增大闭环光纤陀螺动态范围，提出了一种基于MEMS 陀螺辅助的增大闭环光纤陀螺动态范围的方法，利用MEMS 陀螺量程大的特点，将MEMS 陀螺与光纤陀螺测得的角速率作差，依据该差值判断光纤陀螺工作的干涉级数，从而对光纤陀螺输出加以修正，使光纤陀螺准确工作在多级干涉条纹。仿真表明，提出的方法能够有效的增大闭环光纤陀螺动态范围，提高闭环光纤陀螺的量程。
