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近日，上海交通大学先进电子材料与器件（AEMD）平台立足于国内自主研发、基于AEMD平台设备和加工条件，研制成功了高速硅基微环电光调制器，最高调制速率达30Gbps。该调制器采用了220nm硅基脊形波导的微环谐振腔，加工工艺涉及电子束直写光刻、离子注入（由协作单位支持）、等离子增强化学气相沉积、反应离子刻蚀以及多靶磁控溅射等多步微纳加工工艺技术。并通过在微环波导上嵌入PN结，实现了载流子耗尽型高速...
