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中国科学院微电子研究所专利:基于氮的双受主共掺氧化锌薄膜的制备方法
中国科学院微电子研究所 专利 氮 双受主 共掺 氧化锌薄膜
2023/7/7
中国科学院微电子研究所专利:原子层沉积制备共掺的氧化锌薄膜
中国科学院微电子研究所 专利 原子层沉积 共掺 氧化锌薄膜
2023/7/6
中国科学院微电子研究所专利:用于提高氧化锌薄膜P型稳定性的方法
中国科学院微电子研究所 专利 氧化锌薄膜 P型 稳定性
2023/7/6
中国科学院微电子研究所专利:用于Te-N共掺氧化锌薄膜的制备方法
中国科学院微电子研究所 专利 Te-N 共掺 氧化锌薄膜
2023/7/6