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激光微加工技术具有非接触、加工材料范围广、精度高、重复率高、热影响区域小、形状与尺寸加工柔性高等优点，广泛应用于微机械、微电子器件、医疗器械、航空精密制造等领域。目前，研究超短脉冲激光的微加工，大多数使用的是低功率激光（P<30W）。与低功率激光相比，高功率超短脉冲激光有更高的加工能力，但目前关于高功率超短脉冲激光材料去除加工的研究较少，特别是高于100W的激光功率。
微细加工光学技术重点实验室
微细加工光学技术 实验室
2011/11/10
微细加工光学技术国家重点实验室是1991年由国家计委批准，通过世界银行贷款建设起来的国家重点实验室。1993年12月经国家计委和中科院批准对外开放。多年来面向国家战略需求、面向本学科高技术前沿，凝练和提升科技目标，进一步明确了实验室的研究方向是微细加工光学技术基础和应用研究。主要研究内容是微光学研究及应用、折衍混合光学技术和系统、微电子光学关键技术原理和方法研究。我们进行学科布局的调整，注重科技成...
该项研究成果来源于：国家高技术研究发展计划(863计划) “高清晰度平板显示器”重大专项中的“全彩色有机发光有源驱动技术的研究”课题，课题编号：2002AA303260。为满足人们完美视觉的需要，彩色化是高质量显示器的基本要求。彩色膜在平板显示器实现彩色化中，起着重要的作用，广泛应用于彩色液晶显示器中。通常在LCD中，常使用的电极结构是在ITO上涂覆彩色膜。彩色膜一定的绝缘性，将使LCD显示器的驱...
超短脉冲激光超微细加工中的临界脉冲宽度问题的研究
超微细加工 临界脉冲宽度 飞秒激光 微区高温等离子体
2008/10/16
飞秒激光超微细加工是当今世界激光、光电子行业中的一个极为引人注目的前沿研究方向。在本研究工作中，我们建立了有着多参数计算机控制和实时监测能力的飞秒激光超微细加工系统，对高于材料激光损伤阈值情况下高局域性超短脉冲激光微加工中优化激光脉冲宽度的问题进行了比较深入的实验和理论研究。通过研究铝、铜、玻璃等金属和非金属材料在不同加工条件下烧蚀深度和粉尘分布的变化特性，比较在临近材料损伤阈值和在高出材料损伤...
摘要:采用激光微细加工技术来制作单片集成光接收机的探测器，在制作过程中，用固态杂质源10.6 μm激光诱导Zn扩散工艺来进行探测器的p-区掺杂。制作出平面型顶部入射的InGaAs/InP PIN 光探测器，响应度为0.21 A/W。分析了激光诱导扩散中影响探测器性能的因素，因此提出了扩散温度自动控制、扩散区温度分布均匀化及激光焦斑与扩散区精确对准等相应的改进方法。
生物芯片技术是90年代初发展起来的一门新兴技术，将给2l世纪生命科学和医学研究带来一场革命： 其中生物芯片中的微阵列分析最为关键，尤其受到人们的关注和研究一微阵列形成主要由各种探针接触式点样而得的～ 微机电系统 (MEMS)的兴起和发展为点样探针的制备提供了简单而有效的微细加工技术。介绍了基于MEMS技术的SiO!基微悬臂梁探针的设计和制备，并用这种探针进行Cy3标记链亲和素点样、结果表明这种微悬...
微细加工光学技术国家重点实验室--2005年开放研究课题基金申请指南
重点实验室 课题基金 申请指南
2011/11/8
微细加工光学技术国家重点实验室，为了充分发挥其在科学领域中的作用，依据开放运行的机制，每年学术委员会将审批研究基金申请课题，吸引国内外专家学者利用本实验室的设备和技术，开展本领域应用基础性的创新研究。研究基金申请者应为有独立开展研究课题能力的国内外科技人员。根据申请课题的内容和申请者的背景，经学术委员会评审，择优资助。研究课题的期限为一到二年。对期限较长的课题采取分期申请的办法。资助金额一次核准，...