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本发明涉及质谱分析仪器，具体的说是一种用于高通量气体样品分析的真空紫外光电离源，包括电离源腔体和真空紫外光源；于电离源腔体顶部设置有气体入口，气体样品通过气体入口进入到电离源腔体内部；在电离源腔体内部，沿气体样品流动方向依次设置有相互间隔、同轴、平行的离子引出电极、离子漏斗和差分接口极板；真空紫外光源设置于电离源腔体侧壁上，真空紫外光源发出的真空紫外光平行于离子引出电极的极板并穿过极板间相互间隔的...