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李明,教授,博士生导师。研究方向是三维电子封装材料及技术,表面纳米阵列材料的电化学制备与应用。2008年开始,与上海新阳半导体材料股份有限公司合作,对超填充机理、超填充工艺及材料可靠性等开展了系列研究,提出了自己的深孔镀铜填充机制,现已成功开发出国内第一代TSV深孔镀铜溶液。通过国外大公司的实际应用,效果良好。目前,正在开发高速型甲基磺酸铜溶液深孔镀铜技术。

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