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工程与技术科学基础学科 兰州大学
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兰州大学
生态学院科研成果标准
兰州大学
生态学院
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2024/2/25
兰州大学
生态学院科研成果标准。
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兰州大学
研究团队在基于氮化硅-薄膜铌酸锂异质集成的光学模式与偏振复用器领域取得新发现(图)
氮化硅
薄膜铌酸锂
异质集成
光学模式
偏振复用器
2023/11/11
近期,
兰州大学
物理科学与技术学院田永辉教授课题组与澳大利亚皇家墨尔本理工
大学
(RMIT)Arnan Mitchell教授课题组及上海交通
大学
苏翼凯教授课题组合作,在薄膜铌酸锂晶圆的表面沉积一层氮化硅薄膜,通过成熟的CMOS兼容工艺刻蚀氮化硅层可以得到氮化硅-铌酸锂异质脊型波导,解决了直接刻蚀铌酸锂薄膜带来的波导侧壁角度等问题,并基于该波导实现了高性能的模式和偏振复用器件。相关结果以“Mode an...
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