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中国科学院金属研究所专利:气体外循环型热丝 CVD 金刚石膜生长装置
中国科学院金属研究所 专利 气体外循环 热丝 CVD 金刚石膜
2023/8/22
WC-8.0%Co基底上微波等离子化学气相沉积金刚石膜
WC-Co 刀具 金刚石膜 微波等离子化学气相沉积
2010/3/10
研究了基片预处理和工艺参数对微波等离子化学气相沉积金刚石涂层WC-8.0%Co刀具质量的影响,研究了提高成核密度和沉积速率的方法,用SEM,XRD,激光Raman光谱分析了金刚石涂层质量,用切削试验检测金刚石涂层与刀具基底的附着情况。结果表明,在1∶3的稀盐酸中酸洗15 min后用氨水浸泡10 min的基片处理方法能有效地抑制金属钴的溢出,从而提高金刚石涂层的质量,并且使刀具使用寿命提高10倍以上...