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共查到
“
工程与技术科学基础学科 复合热敏薄膜
”
相关记录1条 . 查询时间(0.139 秒)
中国科学院新疆理化技术研究所专利:一种基于离子注入的NTC
复合热敏薄膜
的制备方法
中国科学院新疆理化技术研究所
专利
离子注入
NTC
复合热敏薄膜
2023/12/5
本发明提供了一种基于离子注入的NTC
复合热敏薄膜
的制备方法。该方法首先在衬底上生长一种NTC
热敏薄膜
,之后通过固定能量及剂量注入特定离子,制备成具有特殊结构的NTC
复合热敏薄膜
。离子注入方法首次被用于传统负温度系数(NTC)
热敏薄膜
材料的改性,一方面使得几乎所有元素的注入成为可能,并且可以得到高的表面浓度获得非平衡结构;另一方面离子注入深度和浓度易于控制,便于重复注入及重复实验,具有制备工艺简单、...
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