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中国科学院深圳先进技术研究院专利：一种基于变栅距光栅透镜的微型光谱仪
中国科学院深圳先进技术研究院 专利 变栅 距光栅 透镜 微型光谱仪
2023/11/14
中国科学院深圳先进技术研究院专利：一种基于变栅距光栅透镜的微型光谱仪
中国科学院深圳先进技术研究院专利：集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法