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合肥工业大学微电子学院MEMS智能传感器方向研究领域包括MEMS传感器设计、RF MEMS、多传感器模块集成与信息融合技术、传感器可靠性研究等。近五年承担的科研项目包括国家重点研发、国家自然科学基金、装备预研、安徽省发改委创新研发专项、安徽省重点研发以及企业委托研发类项目。依托安徽省MEMS工程技术研究中心和安徽省MEMS核心器件产业创新中心，组建了具备MEMS设计、工艺、封测与装备试验能力的特色...
Particle Filter Data Fusion Enhancements for MEMS-IMU/GPS
Micro-Electro-Mechanical-System Particle Filter Data Fusion Extended Kalman Filtering
2013/1/29
This research aims at enhancing the accuracy of navigation systems by integrating GPS and Mi-cro-Electro-Mechanical-System (MEMS) based inertial measurement units (IMU). Because of the conditions re-q...
A More Effective Technique of Design Synthesis for MEMS with Expected Performance
MEMS Design Synthesis Direct Solution Algorithm Genetic Algorithms Simulated Annealing Comparing
2013/1/28
A design synthesis technique based on sensitivity for Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) proposed. This new technique can be called Sensitivity-Based Direct Solution Algorithm (DSA) of design syn...
MEMS结构离面微运动测试系统设计与实现
微机电系统结构 频闪成像 显微干涉 离面微运动
2010/3/15
利用频闪成像和显微干涉技术设计开发了微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems，MEMS）离面微运动测试系统。系统在计算机控制下通过相对延时和五步相移干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内各不同时刻的干涉条纹图集，再通过五步相移算法和分割线去包裹算法分别对干涉条纹图和包裹相位图进行分析处理可得到被测MEMS结构的离面微运动情况。为实现浮点型相位图数据的有效存取，提...
FPGA控制MEMS强链的移动硬盘加密设计
移动硬盘加密系统 物理密钥 流水线操作
2009/7/24
设计了一种能广泛应用于信息安全领域的新型硬件加密系统——基于MEMS（微机电系统）强链的移动硬盘加密系统。利用MEMS强链的反馈信号生成用于AES加解密算法过程的物理密钥，使得该系统的安全性能大大提高。测试结果表明，该系统实现了数据透明加密和身份认证功能，在Ultra DMA模式2下读写数据的传输速率能够达到17 MB/s。
基于XML的MEMS设计过程描述语言
MEMS XML MEMS设计过程描述语言
2009/4/17
在分析和细化MEMS多种器件设计流程的基础上，建立了通用的MEMS Top-Down设计过程模型。参考工作流过程定义语言XPDL，并对其进行了扩展和修改，充分考虑微机械系统设计过程的特点，提出了一种基于XML的MEMS设计过程描述语言(MDPDL)，介绍了其设计和实现的基本思想，用实例验证了该语言的有效性。
2009年1月7日，复旦大学信息学院刘祖望老师和周嘉老师指导的电子工程系08级硕士生王恩、计算机科学与技术系06级本科生章锦晶、计算机科学与技术系06级本科生李健喆、微电子系08级硕士生曾祥宇参加了2008年美新杯MEMS传感器应用大赛，复旦大学世博会3-D控制实体展示台荣获2008年美新杯唯一的一等奖。2008年美新杯MEMS传感器应用大赛（简称：美新杯）在深圳落幕，复旦大学世博会3-D控制实...
一种新的用于信息安全的MEMS强链
MEMS强链 信息安全
2008/12/8
该课题设计和制造一种破解概率小于百万分之一的MEMS强链，将其置于受保护的信息系统和外界环境之间，由于MEMS强链是机械式的，一旦输入密码错误，则强链机械地锁定，数字信息系统与外界物理隔离。当密码正确时，强链耦合器开启，用光耦合的形式将内部信息系统与外界信息环境连接在一起，系统访问允许。将MEMS技术应用于信息安全技术中，用MEMS物理“硬”屏障-MEMS强链实现信息安全，是具有重要学术价值和应用...
用于信息安全的MEMS强链
MEMS强链 信息安全 计算机认证 破解概率
2008/12/8
该技术以轴向磁场永磁微电机驱动器、全金属反干涉齿轮集鉴码机构，以物理屏障方式实现安全保证，具有创新性，并采用准LIGA等有关工艺技术，实现了MEMS强链的制造，完成了以一机、一卡+专用软件的MEMS信息安全技术的系列技术，实现了MEMS强链计算机认证和MEMS强链网络的物理认证，并建成了结合具体加密算法将物理和逻辑密码相结合，软硬结合的新颖网络信息安全认证系统。全套技术具有完全自主知识产权的，主...
MEMS检测及微操作系统
MEMS检测 微操作系统
2008/9/27
本项目主要完成一个自动化的MEMS封装和检测系统。封装主要是完成0～20mm的两个极板的对准和粘接，粘接是在对准后，通过加压，使极板与芯片接触并粘合；检测主要是完成0～20mm的MEMS芯片的表面非接触检测，包括：表面形貌(主要指粗糙度)、各种沟槽的三维几何测量。本系统将MEMS检测与微操作功能相结合构成多功能的操作系统在国内尚属首创。
微机电系统（MEMS）集成设计平台
微机电系统 微机电产品 计算机辅助设计 软件应用平台
2008/8/14
内容简介：微机电系统（MEMS）集成设计平台以集成化方法为指导，为不同工程背景的设计人员提供系统级、器件级和工艺级等多用户设计入口，以实现典型MEMS器件的设计、分析、检测、封装和制造，加速微机电产品的市场化进程，降低产品制造成本。该系统为微传感器和微致动器的研制提供良好的支撑环境，尤其是在新兴的通讯、生物、光等领域的微机电产品的开发与研究中具有重要应用前景。主要功能：该平台以标准MEMS工艺为基...
