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2020年9月5日下午,由清华大学微纳电子系、北京未来芯片技术高精尖创新中心和清华校友总会共同主办的第一期“水木谈芯”集成电路技术与产业论坛成功举办。此次论坛聚焦“中国集成电路的挑战与机遇”这一主题,演讲嘉宾包括清华大学微纳电子系教授魏少军,璞华资本、元禾璞华投委会主席陈大同校友,中芯国际联合首席执行官赵海军校友以及格科微电子董事长兼首席执行官赵立新校友。论坛由清华大学微纳电子系主任吴华强主持,微...
制备超大规模集成电路用水新技术的研究
集成电路 膜接触器 高纯水
2008/7/23
该研究涉及电子\半导体\冶金\化工\生物制剂\医药以及实验室和一切对水质要要求特别高的各行业。主要内容:用各种膜分离技术及各种制水工艺去除TOC的方法比较以及加碱对去除弱电离子\硅酸\硼酸和二氧化碳的影响,研究有膜接触器降低溶解氧及有185nmUV和腊接触器联用的技术降低TOC等。成果应用推广到多家企事业单位,使水质好,提高了产品质量和成品率,取得了很好的社会效益和经济效益。