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搜索结果: 1-15 共查到电子科学与技术 RF相关记录23条 . 查询时间(0.015 秒)
2021年5月27日,由东南大学网络空间安全学院教育部“长江学者”特聘教授、东南大学首席教授黄风义牵头承担的国家重点研发计划“光电子与微电子器件及集成”重点专项“高宽带超高速数据率及宽带可重构射频系统集成芯片(RF SoC)技术研究”项目中期检查会议在南京召开。东南大学副校长丁辉、科技部高技术中心有关负责同志、我院党委书记施畅、专项总体专家组、项目责任专家、项目负责人、课题负责人及骨干成员约30人...
Founded by the IEEE Microwave Theory and Techniques Society (MTT-S), NEMO is a new annual focal event on electromagnetic- and multiphysics-based computer-aided design (EM-CAD), rotating between Europe...
Modern medical ultrasound machines produce enormous amounts of data, as much as several gigabytes/sec in some systems. The challenges of generating, storing, processing and reproducing such voluminous...
中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心,在自然科学基金、中科院项目的支持下,经过努力探索,制备成功RF MEMS振荡器。
研究了RF MEMS开关的制造工艺流程和聚酰亚胺牺牲层的去除工艺。在开关的设计和加工中采用在信号线两侧的地线上生长一层绝缘介质层,直流偏置线生成在绝缘介质层之上,与桥的锚点相连接,实现了交直流隔离。讨论了干法刻蚀和湿法刻蚀牺牲层技术。干法刻蚀容易造成绝缘介质层的刻蚀和损伤。采用湿法刻蚀结合临界点干燥技术,可以获得理想的微梁结构。通过测试,开关样品的下拉电压为34-40V,下拉距离为1.7μm±0....
2010年5月19日上午,LEHIGH大学黄正民教授访问微系统所射频与能源微系统技术实验室,并作了主题为Enabling Technology for Cognitive and Software-Defined Radios的演讲。演讲大会由田彤研究员主持,五室和一室的二十多名学生和职工参加了本次讲座。
利用MEMS微电镀工艺技术制作了一种新型的适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感,采用ANSOFT公司的HFSS优化平面螺旋电感的结构。在具有高电阻率的玻璃衬底上溅射0.5um的铜层作为下电极;PECVD淀积厚度为1umSiO2 作为中间介质层;在介质层上结合厚胶光刻技术电镀厚为22um的铜作为电感线圈。这套电感制作工艺流程简单、易于与IC制备工艺集成。本文制备的微机械电感在微型植入系统中具...
本文模拟并设计了一种基于表面微机械加工的平面MEM电感,提出了它的等效电路模型并给出模型中参数的提取方法。由模拟结果验证了该等效电路具有较高的精度,误差在8%以内。设计的一个3.6nH的平面MEM电感的品质因数超过20,自谐振频率超过15GHz。由平面MEM电感构成的5阶LC低通滤波器的-3dB带宽为3.7GHz,0~3GHz内的插入损耗低于1dB。
本文设计并制备了一种低电压的静电驱动接触式单刀四掷(SP4T)RF MEMS开关。单元开关采用以低应力氮氧化硅(SiON)作为桥膜的双端固定桥式结构,并利用附着的金层形成接触结构。整个SP4T开关包括与50Ω特征阻抗相匹配的共面波导,1个输入端,4个输出端,4个静电驱动的侧拉桥,以及4个驱动引出区(pad)。测试数据表明,开关驱动电压18.8V;插入损耗S21<0.26dB@DC-3GHz,S31...
介绍了一种串联电容式RF MEMS开关的设计与制造。所设计的串联电容式RF MEMS开关利用薄膜淀积中产生的内应力使MEMS桥膜向上发生翘曲,从而提高所设计的开关的隔离度,克服了串联电容式RF MEMS开关通常只有在1GHz以下才能获得较高隔离度的缺点。其工艺与并联电容式RF MEMS开关完全相同,解决了并联电容式RF MEMS开关不能应用于低频段(<10GHz)的问题。其插入损耗为-0.88dB...
本文提出一种静电驱动直接接触式宽带MEMS开关,包含CPW传输线、双U型金属悬臂梁、触点和锚区,兼顾了开关接触可靠、克服微结构粘连和低驱动电压三大结构可靠性设计因素。本开关为三端口开关,使用低温表面微机械工艺,制作在400μm厚的高阻硅衬底上,芯片尺寸0.8mm×0.9mm。样品在片测试结果表明,在6GHz频点,开关本征损耗0.1dB,隔离度24.8dB,等效开关接触电阻0.6Ω,关态电容6.4f...
宽带无线通信移动终端平面天线属于无线通信技术的天线设计领域,其特征在于:天线结构印制在印刷电路板上,包括辐射单元、金属地和馈线,金属地是指印刷电路板两个面中不含天线的辐射单元的那个金属面,包括用来模拟无线通信系统中除天线外的其它部分的矩形金属贴片和一个T形金属贴片。辐射单元包括一个矩形金属贴片、一个三角形金属贴片、两个梯形金属贴片;辐射单元和馈线相连,馈线可以采用微带线也可以采用探针等其它形式,采...

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