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柔性MEMS减阻蒙皮设计及其制作工艺
减阻蒙皮 柔性MEMS 微气泡 微凹坑 SU-8胶 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
2012/12/25
提出了一种电解水式驻留微气泡减阻的柔性微机电系统(MEMS)蒙皮技术,研究了蒙皮结构设计以及加工工艺。设计了一种包含柔性基底层、金属电极图案层和微凹坑阵列层的三层式蒙皮结构,提出了两种基于MEMS工艺的制作方法。分别采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8胶材料制作了微凹坑阵列层,并对其关键工序进行了实验研究。以SU-8胶为微凹坑阵列材料制作了柔性MEMS蒙皮样件。所制样件中,圆柱形驻气凹坑的直径...
接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器
开关 MEMS 寿命测试
2008/12/8
一种接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器属接触式MEMS开关器件测试技术领域，该方法利用连续方波脉冲信号驱动被测接触式MEMS开关的上、下电极，在该开关正常，即第一、二接触点间有开关动作时，计数器计数连续方波脉冲信号的脉冲个数，直至该开关疲劳失效，即第一、二接触点间无开关动作时，计数器停止计数，显示器显示的数字就是该被测开关的寿命指标，该仪器由方波发生器、脉冲幅度转换器、测试架、开关动作监视器...