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原子力显微镜用于纳米级三维表面形貌及微小尺寸的测量（图）
原子力显微镜 纳米级 三维表面形貌 微小尺寸
2009/1/20
作为一种纳米测量设备，原子力显微镜已在材料科学等领域得到广泛应用，目前人们正试图使原子力显微镜成为一种计量仪器进入工业测量领域，用于集成电路的线宽等特征尺寸及表面粗糙度的测量。本项目研究的计量型原子力显微镜具有量值溯源性，可将纳米测量的量值直接溯源到米定义激光波长基准，填补了我国国家纳米计量的空白，对纳米技术在我国工业生产中的应用和发展将具有重要的意义。
利用菲涅尔衍射测量微小尺寸
尺寸 菲涅尔衍射
2008/5/6
在科研工程实际中,对细丝、狭缝等微小尺寸的测量通常采用夫琅和费衍射法,因为衍射暗斑间距与被测尺寸之间具有很简单的函数关系:s=λL/d。理论上,夫琅和费衍射条件是相当苛刻的,即要求L>d~2/λ,在实际应用中,考虑到光源、传感器以及被测对象尺寸之间的匹配关系,往往很难实现。本文通过理论分析与实验数据充分证明,对于菲涅尔衍射,前述函数关系也能保持极为良好的近似,为仪器结构设计提供了极大方便,同时也为...