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电子聚合物NO_x气体传感器阵列技术研究
气体传感器阵列 子聚合物 氧化氮
2008/10/13
该项目采用通过对大量有机敏感材料的选择，选定了聚苯胺和酞菁类有机物作为敏感材料，研究了其合成技术；利用实验室配备的LB槽系统，成功地制备了LB膜；同时利用分子自组装技术，也制备出了超分子敏感膜，并对超分子薄膜的气敏特性进行了初步测试，设计了气体传感器阵列的器件结构，采用微机械加工工艺及超薄膜技术研制出了电子聚合物NO_x气体传感器阵列。该成果能够有效地提高气体传感器的选择性和测量精度，可用于混合气...