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本发明涉及一种基于In2O3纳米线的气体传感器气敏膜的制备方法。是以两步化学转化法合成多孔半导体In2O3纳米材料，经过初步分离纯化后得到纯度较高的In2O3纳米线，并以此作为气敏性材料，组装成半导体气体传感器。该气体传感器的工作原理是根据半导体In2O3纳米线材料暴露在空气和待测气体中电信号（电阻、电压、电流等）的变化来进行检测和分析的。气体传感器能够对乙醇、丙酮、甲醛等常见的有机挥发性气体(V...
本文采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备出氧化铁-氧化铟复合材料,利用提拉法将复合材料固定在锡掺杂玻璃光波导表面研究出能够检测二甲苯气体的Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件。将气敏元件固定在气体检测系统中对挥发性有机气体进行检测。实验结果表明，Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件对二甲苯气体具有较好的响应，其响应浓度范围为1×10-3～1×10-5(V/...
基于“相同温度下同一物体所产生的辐射功率相同”这一原理，搭建了一套非接触式微小芯片表面工作温度的测试平台。利用该平台对汉威电子出品的一种平面陶瓷基微气体传感器衬底的表面工作温度进行了测试，明确了其表面温度与加热电流之间的关系及芯片表面工作温度分布图。在此基础上，确定了In2O3纳米纤维的最佳工作温度，研究了最佳工作温度下In2O3纳米纤维酒精传感器的气敏特性，验证了测温方法的有效性。该方法可进一步...
期刊信息
篇名
A Study of Higly Sensitive In2O3 Thin Film O3 Sensor
语种
英文
撰写或编译
作者
牛文成等3人
第一作者单位
刊物名称
Chinese Journal of Electronics
页面
1997,No.1
出版日期
1997年
月
日
文章标识(ISSN)
相关项目
高灵敏度半导体臭氧传感器的研究
