搜索结果: 1-3 共查到“工程与技术科学基础学科 MEMS”相关记录3条 . 查询时间(0.082 秒)
由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件，本文基于非硅MEMS工艺，开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式，设计了运动范围为25 mm×25 mm×10 mm，单轴12 μm范围内定位精度达1 nm的三维微位移平台。最后，对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明，测头的轴向测量范...
一种MEMS同振柱型仿生矢量水听器的研制
MEMS 同振柱型 仿生 矢量水听器
2014/4/22
本文提出了一种结合MEMS技术和仿生原理、压阻原理的同振柱型矢量水听器，即由二维仿生水听器和声压水听器组合而成的柱体。在声学理论基础上详细介绍了该水听器的封装设计及制作过程，该矢量水听器在国防水声一级计量站进行了校准实验，实验结果表明：该同振型矢量水听器的工作频带范围为0-3KHz； X通道灵敏度-177.9dB（2KHz），Y通道灵敏度-175.4dB（2KHz），声压通道灵敏度-175.8dB...
第三届美新杯中国MEMS传感器应用大赛启动
第三届 美新杯 中国MEMS传感器
2009/4/3
2009年4月1日，在中国国际微纳米产业博览会期间， 第三届美新杯中国MEMS传感器应用大赛（简称“2009美新杯”）”在上海启动，第一届微纳米应用技术国际大赛同时启动。
