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期刊信息
篇名
Pulsed Plasma Deposition c-BN Thin Films on Silicon Substrate
语种
英文
撰写或编译
撰写
作者
闫鹏勋,杨思泽
第一作者单位
中国科学院物理研究所
刊物名称
Phys. Stat. Sol.
页面
1994.145.K29
出版日期
1994年
4月
日
文章标识(ISSN)
相关项目
高能量密度等离子体法制备立方氮化...
