搜索结果: 61-75 共查到“传感器技术 MEMS”相关记录83条 . 查询时间(0.093 秒)
基于MEMS工艺的压阻式湿度传感器的设计制作
MEMS 湿度传感器 压阻 聚酰亚胺
2014/5/14
提出用硅-硅直接键合的SOI片制作压阻式湿度传感器。它是利用涂覆在硅膜上聚酰亚胺膜吸湿发生膨胀，导致双膜结构发生弯曲产生应力的原理进行工作的。为了确定传感器结构、优化尺寸，采用ANSYS软件进行了模拟计算、设计了MEMS湿度传感器的制造工艺，对制作的微湿度传感器进行了测试，其灵敏度为0.208mV%RH， 湿滞为8％RH。
一种MEMS热风速计的系统级封装
MEMS 热风速计 封装
2014/5/14
提出了一种MEMS风速计的封装结构，采用这种结构可以集成信号处理电路，实现系统功能。文章利用ANSYS软件对封装结构进行建模，主要从风速和风向两个方面，对风速计封装前后的性能进行了模拟，并将模拟数据与理想数据和实验数据进行了比较，模拟数据、理想数据与理想数据的误差在7%以内。总体上，风速计在封装前后的性能大致相同，但是在灵敏度方面有所下降。
MEMS耐高温压力传感器封装工艺研究
微机电系统 高温压力传感器 封装 低温玻璃键合
2014/5/15
为解决特种压力传感器结构的封装难题，提出了三种能够适用于200℃高温条件下的先进封装技术。通过有限元模拟，确定了采用低温玻璃键合技术对多种压力传感器进行封装，分析得出了适合的中间键合层厚度。选定了高强度低膨胀基底合金材料，制定了低温玻璃键合的工艺流程，采用先进的丝网印刷工艺确保中间键合层厚度。实验表明经过该工艺封装的压力传感器在高温下具有可靠的性能，能满足现代工业测量需求。
西北工业大学马炳和等人的灵巧蒙皮论文入选国际顶尖MEMS学术会议
马炳和 巧蒙皮论文
2010/3/16
日前，我校微/纳米系统重点实验室马炳和副教授等人的MEMS灵巧蒙皮论文入选IEEE MEMS 2010国际会议。今年，国内仅有包括我校以及清华大学、北京大学、中科院、上海交大等在内的6家单位研究论文入选。
第四届美新杯中国MEMS传感器应用大赛开始报名
第四届 美新杯 MEMS传感器
2010/3/17
第四届美新杯中国MEMS传感器应用大赛（iCAN'11中国区选拔赛）于2010年3月15日正式开始报名！请登陆大赛官方网站http://china.ican-contest.org/进行网上注册报名，下载传感器参数，网上报名截止时间为2010年4月30日。
轮胎压力监测报警系统（Tire Pressure Monitoring System）(TPMS)是汽车安全领域重要电子装置，近年来已开始获得广泛应用，但传统的TPMS产品多为内置式，安装在轮胎内，安装和维护时需要拆卸轮胎造成很大不便，同时轮胎里的金属轮辋对位于胎内的压力传感器和无线发射装置有很强的屏蔽作用，信号衰竭很快，要保证信号传输到位于驾驶室内的接收器，必须提高发射功率，从而大大缩短发射器的...
利用MEMS技术研制硅脉象传感器
MEMS 硅脉象传感器 MOSFET 纳米硅/单晶硅异质结
2014/5/4
利用MEMS技术在n型<100>晶向的单晶硅衬底上设计并制作了以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极的p-MOSFETs脉象传感器。在方形硅膜上制作四个以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极p-MOSFETs，并将p-MOSFETs的沟道电阻设计成惠斯通电桥结构，从而实现对微小脉象信号的准确检测。实验结果表明，该硅脉象传感器在恒压源-3.0V供电条件下，灵敏度为1.623mV/Kpa，准确度为2.029%...
MEMS高g加速度传感器固有频率的优化及验证
MEMS高g加速度传感器 固有频率 优化 谐振现象 动态测试
2014/5/5
由于MEMS高g加速度传感器固有频率低，导致测试过程中出现谐振现象。本文分析了传感器的特殊结构参数对固有频率影响，提出了一种优化固有频率的方法。该方法通过减小质量块质量和优化梁厚度与长度的比例来调整传感器的固有频率，并通过理论仿真验证了该结构的固有频率从330kHz提高到550kHz，然后利用动态测试系统对优化前后的高g加速度传感器分别在20000g和150000g作用下测试输出信号。实验表明该优...
Integrated MEMS/NEMS Resonant Cantilevers for Ultrasensitive Biological Detection
Integrated MEMS/NEMS Resonant Cantilevers Ultrasensitive Biological Detection
2009/9/4
The paper reviews the recent researches implemented in Chinese Academy of Sciences, with achievements on integrated resonant microcantilever sensors. In the resonant cantilevers, the self-sensing elem...
2009年美新杯中国区MEMS传感器应用大赛闭幕（图）
2009年 美新杯 中国区 MEMS传感器
2009/8/17
2009年8月13日，2009年美新杯中国区MEMS传感器应用大赛在哈尔滨闭幕，大赛共决出特等奖一名，一等奖三名，二等奖六名，三等奖十名，其中荣获特等奖和一等奖的四个项目将代表中国大陆区参加明年1月举行的第一届微纳米应用技术国际大赛。
新型MEMS传感器阵列及其应用研究（黄聪）
MEMS 传感器阵列
2008/11/5
PZT悬臂梁结构的优化设计成果简介：推导了单层锆钛酸铅悬臂梁伸缩振动时振幅的表达式，得出振幅与电势差ΔV成正比，与长厚比L/d成正比，与宽度w无关。分类分析了锆钛酸铅悬臂梁弯曲振动的各种模式，通过有限元分析软件ANSYS仿真得出：在相同几何尺寸，相同电压的情况下，“异P同E”的振幅是“异E同P”的振幅的一半；两者的振幅与电势差ΔV成正比，与长厚比(L/d)成平方关系，与宽度w无关。对于“同P同E”...
新型MEMS传感器阵列及其应用研究（孔继烈）
MEMS 传感器阵列
2008/11/5
本课题的所研制的多抗体修饰芯片提供了一种更简便、快睫、灵敏检测早期肝纤维化的临床诊断新方法，具有很好的临床应用前景。所研究的蛋白质芯片提供了多通道的多指标同时检测技术，使得单个芯片上能同时完成数种肝纤维化血清标志物的非标记检测新技术，即基于电化学电容快速检测的芯片检测技术，单次测量的时间大大缩短，在数分钟以内完成。检测所使用的试剂和样品量极少，为uL级或ng级，检测灵敏度可达到pg级。在中国人民解...
新型MEMS传感器阵列及其应用研究（黄洪湖）
MEMS 传感器阵列
2008/11/5
本发明由高灵敏度的压电谐振式质量传感原理与高选择性的纳米分子筛材料有机结合而成。压电谐振式质量传感器件通过检测系统谐振频率的改变来获得系统质量的变化；通过制备不同孔径大小、形状以及化学修饰的纳米分子筛材料，并将其作为气体敏感膜用特殊工艺制作在上述传感器件上。二者的结合创新地实现了高选择性、高灵敏度的疾病诊断纳米传感器。灵敏度为-0.00088%/ppm，最小可测浓度为1.2ppm，可小可测量为0....
MEMS加速度传感器（KA1000）
加速度传感器 MEMS
2008/10/14
该产品是由一块SENSOR芯片与信号调理电路ASIC芯片键合后，封装在金属管壳内的MEMS硅微机械加速度传感器。传感器SENSOR芯片是在Si片上以表面微加工工艺制造而成的梳齿式电容加速度传感器，从SENSOR芯片传出的信号通过信号调理电路ASIC进行调理，ASIC可根据不同的量程范围，调整出对应的灵敏度及偏置，并具有传感器自检、带宽和时钟频率调整等功能。MEMS加速度传感器不仅具有常规MEMS...
MEMS耐高温压力传感器
压力 压力传感器 测量
2008/10/14
该产品采用高能氧离子注入技术制作二氧化硅隔离层，将检测电路与基底隔离开，避免高温下检测电路与基底之间的漏电流问题，解决了常规硅压力传感器120℃产生失效的技术难题；该产品将被测高温流体与硅敏感元件相隔离，避免了被测流体的瞬时高温冲击，解决了瞬时高温冲击的难题；采用钛、铂金耐高温布线系统，解决了高温等恶劣环境下传感器引线的技术难题。该产品属国内首创，国际领先的技术水平，且价格仅为国外同类产品的25%...
