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本文论述了扫描电子束对YBa2Cu3O7-δ超导膜进行干法刻蚀的实验研究;试验了电子束工艺参数对刻蚀效果的影响;初步讨论了超导膜改性的机制。扫描电子束能使被刻蚀的超导膜局部改性为非超导膜,将为干法制备超导器件提供一个有效的方法。
利用金膜光纤SPR传感器测定标准试剂折射率,实现了对金膜折射率的测试.给出金膜光纤SPR传感器总反射系数与金膜折射率等参量关系表达式.采用经典金膜折射率计算结果与试验结果相比具有相当差距.为此采用一组标准试剂进行试验,对测试数据进行计算,修正了可见光波段金膜的折射率.
该文提出了“阴极-敏感薄膜复合”结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了“阴极-敏感薄膜复合”结构,对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算,并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性的影响。
产品功能及应用领域:产品功能:利用厚膜电阻的压阻效应生产的芯片,可以用来制作各种力敏传感器;应用领域:石油、化工、机械、冶金、电力、环保、农业、汽车及国防、科研等部门和行业。技术特点:关键技术:厚膜电阻生产工艺;封装技术;温度补偿技术;量程扩展技术;可靠性设计、加工技术;质量分析及控制技术。与国内外同类产品比较:为目前国内独家生产的传感器芯片,其主要性能指标达到瑞士kristal公司,美国DJ公司...
该发明专利是用于生物化学需氧量生物传感器的微生物有机-无机杂化材料膜。其工艺为选择无机材料正甲氧基硅烷或正乙氧基硅烷水解制得的溶胶-凝胶,与含微生物的聚乙烯醇接枝4-乙烯基吡啶水溶液混合;混匀后滴涂于载玻片表面,晾干,得到含微生物均匀的有机-无机杂化材料膜;将该膜置于氧电极的透氧膜上即制得BOD微生物传感器。制备出的微生物传感器响应时间为3~20分钟,线性范围为1~60mg.L^(-1),连续工作...
Pt100-Pt500-Pt1000系列厚膜铂电阻,采用微电子厚膜工艺进行生产,1200℃高温烧结后元件呈一体化独石结构、长期稳定性好。本公司采用自制的系列厚膜铂电阻浆料,该浆料有很好的印刷性能,分辨率高,使厚膜铂电阻元件的制作高度小型化。厚膜铂电阻在抗震动、热响应快、环境污染等方面有优势。
耐高温微型压力传感器产品,具有精度高、可靠性高等优点,其温度工作范围为-20~250℃,可完成1000MPa以下任意量程范围的压力测量,能承受2000℃瞬时高温冲击,完成了可适用于高温、高压、高频响及瞬时高温冲击等条件下压力测量的高温压力传感器。2003年,该项目顺利通过了863专家组验收,并于2004年,教育部对这一成果组织了科技成果鉴定,认为:该项目属国内首创,其性能指标和总体水平达到国际先进...
该系列产品是采用优质国产或进口带不锈钢隔离膜片的敏感组件制作的通用压力传感器。它的优点在于敏感元件浸于隔离传递用的高纯度硅油中,因而在常温常压下长期稳定性好;它还非常适宜于在环境湿度、盐度较大的环境下工作。它的另一优点是,即使第三元件因某种意外原因而损坏,金属隔离膜片可防止被测介质的泄漏,这对某些特殊的用途也是很重要的。316L不锈钢隔膜耐碱性介质好,耐部分酸性介质较差,强酸介质可用101系列或专...
该产品适用于土木工程结构的室内模型和工程结构试验中接触应力(压力)的测量。规格:0.1-1.0MPa。外形尺寸:20/110(H/φmm)。非线性≤1.5%FS。重复性≤0.5%FS。滞后≤1.0%FS。满量程输出≥500με。零点漂移≤1.5%FS(三个月)。温度漂移:≤0.5%FS/℃。温度范围:-30-+50℃。输出阻抗:120、350Ω。
CYG204系列采用双端带316L不锈钢隔离膜片的标准差压OEM元件,因而介质普适性强。凡对316L不腐蚀的介质均可适用。若有特殊要求,还可选用其他特种材料膜片替代316L以适应介质。由于标准差压OEM元件成本高昂,因而CYG206是204的一种低成本替代产品,它的结构设计独特,只要对316L不锈钢、硅、玻璃、环氧树脂不腐蚀、相兼容的介质均可适用。它在保留204系列优点的同时大大降低了成本,具有性...
主要技术指标:量程:0.06-25MPa,工作温度:-35-+110;精度:0.2-1.0(%FS),满量程输出:<30mV,零点输出:<5mV,温度零漂:<0.03(%FS),输出阻抗4kΩ,允许过载:120-150%,桥压12(VDC),平均无故障时间:10^6小时。该产品利用厚膜电阻的压阻效应,以厚膜工艺技术制作而成,能直接将被测压力转换成电信号输出。变送器输出规范化电压、电流信号。应用范围...
该产品是基于金属应变原理而制成,其敏感元件是金属元件是金属弹性体上的多层纳米膜结构。弹性体采用金属处理的金属圆形平膜片,在精密抛光的膜片上制作纳米固体Ta205薄膜离层,然后,在其上再制作纳米量能的Ni-Cr薄膜功能材料,通过微细加工技术构成惠斯登电桥,电桥电阻用纳米Si02膜钝化保护,引线用金丝引出。当被测压力用膜片上时,膜片立即产生弹性形变,引起膜片的应变电阻值发生变化,使电桥失云平衡,从而产...
该产品是基于金属应变原理而制成,其敏感元件是金属弹性体上的多层纳米膜结构。弹性体采用经处理的金属圆形平膜片,在精密抛光的膜片上制作纳米固体Ta_20_5薄膜离层,然后,在其上再制作纳米量能的Ni-Cr薄膜功能材料,通过微细加工技术构成惠斯登电桥,电桥电阻用纳米Si0_2膜钝化保护,应变信号用金丝引出。当被测压力用膜片上时,膜片立即产生弹性形变,应变电阻发生变化,电桥失去平衡,从而产生与被测压力成正...
该项研究成果表明,用新型半导体材料—金刚石薄膜研制的压力和温度传感器件适应于高温、高辐射、强腐蚀环境,在军事上及民用的许多恶劣环境下使用是很有意义的。
该项目在基本完成烧结工艺稳定性研究的基础上,开展了理论研究从力敏信息获取原理出发,对毛细作用在玻璃扩散、渗透阶段的作用和影响;钌基厚膜应变电阻液相烧结阶段的模型及分析;隧道势垒模型分析及对力敏现象的解释等方面进行了研究。对隧道势垒模型进行了分析,结合国外现有相关模型,并针对烧结过程及工艺条件,提出了初步的数学模型。现已能定性解释烧结过程中工艺条件对厚膜电阻性能的影响;完善温度补偿的平面化设计,进行...

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