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超短脉冲激光超微细加工中的临界脉冲宽度问题的研究
超微细加工 临界脉冲宽度 飞秒激光 微区高温等离子体
2008/10/16
飞秒激光超微细加工是当今世界激光、光电子行业中的一个极为引人注目的前沿研究方向。在本研究工作中，我们建立了有着多参数计算机控制和实时监测能力的飞秒激光超微细加工系统，对高于材料激光损伤阈值情况下高局域性超短脉冲激光微加工中优化激光脉冲宽度的问题进行了比较深入的实验和理论研究。通过研究铝、铜、玻璃等金属和非金属材料在不同加工条件下烧蚀深度和粉尘分布的变化特性，比较在临近材料损伤阈值和在高出材料损伤...