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该成果属“光机电一体化”应用技术领域,主要是采用了先进的高功率光纤激光器作为精密激光加工系统的光源,并探索出该系统在精密加工领域的应用技术。该成果发挥光纤激光器的光束质量高、运行可靠、体积小和效率高等优越性能,提高了激光加工的精度及其工业适用性,能满足医疗器械、微电子、微机电等现代精密器械领域对激光加工的需求。项目达到的技术指标有:光纤激光的光束质量M2小于2,束腰半径0.016mm,切缝宽度0...

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