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用高能(500MeV)Ne离子束对GaAs和InP进行了辐照,用MonteCarlo模拟、正电子湮没谱学以及红外光谱研究了辐照产生的缺陷特性.结果表明,在未辐照的样品中存在单空位,经辐照后,可在样品中产生单空位;当剂量较大时,还会形成双空位甚至尺寸较大的空洞.红外光谱测量发现,在辐照后的GaAs样品中有非晶区形成.此外,辐照在样品中还产生了反位缺陷GaAs和InP以及受主杂质ZnIn.对经1014...