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基于视觉对准的非硅MEMS微小型结构件微装配系统
非硅MEMS 微小型结构 微装配 摄像机标定
2016/9/21
为满足非硅MEMS 微小型结构件的高精度柔性装配需求，设计一种基于正交光路分时成像视觉对准的机 器人串行微装配系统。介绍目前微小型结构、非硅MEMS 和机器人微装配系统的发展概况，给出其总体结构组成及 典型装配过程，重点分析视觉对准系统摄像机标定方法，对标定误差进行分析，最后对装配系统进行非硅MEMS 典 型零件装配实验分析。结果表明：所设计的装配系统视觉系统检测精度≤5.5 μm，能满足一般精度...
汽车用MEMS压力传感器
压力传感器 汽车
2008/9/4
该公司通过自购生产、检测设备，建设MEMS压力传感器专用生产线，进行上述产品的产业化生产，达到大批量生产和供货能力。另外，公司将利用人才优势和技术优势，自主开发专用的MEMS芯片和ASIC芯片，实现芯片的批量生产能力。项目产品具有高可靠性、高稳定性、长寿命、低价格等特点；通过采用自主压力芯片和调理芯片，不仅实现实现了全国产业化而且具有完全知识产权，并申请了多项专利保护；采用模拟仿真设计方法实现低成...