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搜索结果: 1-3 共查到近场光学及纳米检测技术 MEMS相关记录3条 . 查询时间(0.097 秒)
The Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) publishes papers on the science, development, and practice of lithographic, fabrication, packaging, and integration technologies necessary t...
SPIE has announced the appointment of renowned lithography expert Chris A. Mack, adjunct faculty member at the University of Texas at Austin, as editor of the Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, a...
本文根据“所见即所得”的设计理念,提出了一种面向三维实体建模的MEMS设计方法,实现了从三维实体到系统级模型或工艺版图的设计流程,使设计者可以首先直接建立器件的三维实体模型,在完成有限元分析后,可以通过组件映射和宏模型提取的方式获得系统级模型,再通过自动版图转换得到相应的工艺版图。此设计方法可以提高设计效率,并且保证了模型数据在各个设计层级之间传递时的一致性和精确性。

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