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搜索结果: 1-5 共查到工程与技术科学基础学科 偏压相关记录5条 . 查询时间(0.136 秒)
本发明公开了一种等离子体-热丝-偏压结合制备硅薄膜的装置及方法,属于硅薄膜的制备技术领域。该方法通过在化学气相沉积过程中使用热丝(HWCVD)等离子体(PECVD),和偏压结合分解反应气体沉积硅薄膜(简称结合方法(P-HWCVD)),通过对极板间距,射频功率,偏压,硅烷和氢气浓度等参数的调节实现对硅薄膜微结构、硅薄膜制备过程以及沉积速率的调控。同时,使用结合方法可以实现比单独使用上述单一一种气体分...
通过9根加固钢筋混凝土圆形短柱(8根钢管自密实混凝土复合加固柱,1根扩大截面加固柱)和1根钢筋混凝土原柱的偏心受压试验,对不同方法加固钢筋混凝土圆形短柱的承载力、刚度和延性进行研究,分析偏心距、钢管壁厚和自密实混凝土强度对复合加固短柱偏压性能的影响。试验结果表明:复合加固短柱的承载力与延性均优于扩大截面加固柱;减小偏心距或增加钢管壁厚均能显著提高复合加固柱的承载力与延性;改变自密实混凝土强度,复合...
偏压富水软岩大断面隧道施工引起的地层变形是多方面影响因素叠加的结果。结合武广高铁尖峰顶隧道下穿地表高压输电线塔的工程实践,首先对隧道施工前后地层变形监测和分析提出控制大变形的工程措施,然后采用综合统计和理论分析,研究地形条件、地层产状、隧道和通道施工、地面荷载、地表坍塌造成的地层变形与建筑物位移的关系,最后以流固耦合数值分析为手段对影响地层变形的关键因素进行量化分析。结果表明:(1) 偏压富水软岩...
以瑞赣高速公路峡山隧道区间为工程背景, 针对小净距双洞并行隧道的复杂受力状态, 采用有限元法对深埋条件下的小净距段偏压隧道采用不同施工方案进行数值模拟. 对双侧壁导坑法、CD法和上下台阶法等不同的施工方法对围岩应力、围岩变形、锚喷支护体系结构内力、拱顶位移及围岩稳定性进行对比. 分析不同方案下开挖前、后隧道围岩与支护结构的位移、应力变化规律. 在此基础上对不同方案施工过程对隧道中间夹岩的力学行为进...
文章摘要: 在不同基体负偏压作用下, 用阴极电弧离子镀等离子体物理气相沉积(PVD)方法在单晶Si(100)基片上获得六方晶系的晶态AlN薄膜.用X射线衍射仪分析了沉积膜的物相组成和晶格位向随偏压的变化,在扫描电子显微镜(SEM)下观察沉积膜的显微组织形貌. 结果表明, 在较小偏压下,AlN膜呈(002)择优取向, 表面致密均匀; 在较大偏压下,AlN膜呈(...

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