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利用溶胶-凝胶技术与电子束蒸镀相结合的方法在常温下制备了叠层V2O5/Ag/V2O5（VAV）透明导电薄膜，研究了各层薄膜厚度对叠层结构光电特性的影响。用原子力显微镜、紫外-可见光分光光度计、四探针电阻仪及开尔文探针对样品的表面形貌、光电性能及功函数等性质进行了表征。实验结果表明，该薄膜具有良好的光学和电学性质，可见光（380~780 nm）平均透过率达75%，迁移率为16.89 cm2/（V·s...